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透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-600E

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透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-600E

BMT-600大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.?
產品編號
產品描述
參數

一、用途:
    BMT-600大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一.
二、技術參數

1.目鏡

類  別

放大倍數

視場(mm)

大視野目鏡

10X

φ22

2.物鏡

類 型

放大倍數

數值孔徑NA

工作距離(mm) 

無限遠長工作距離平場消色差物鏡

5X

0.12

26.1

10X

0.25

20.2

40X

0.60

3.98

60X

0.70

3.18

3.光學放大倍數:50X -- 600X     系統參考放大倍數:50X-3500X
4.濾色片組:黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺:二層機械移動式:尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調焦機構,微動手輪格值:0.002mm
8.落射照明器:鹵素燈,亮度可調;透射光源6V30W鹵素燈,加裝散熱片。
9.防霉:特有的防霉系統
三、系統組成
大平臺硅片檢測顯微鏡(BMT-600E): 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、500萬高像素攝像頭
4、計算機(選配)
四、總放大參考倍數
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-600E):50--4000倍 (17寸顯示器為例) 
五、選購件   
1.二維測量軟件BM-3000C   2.目鏡: 20X 10X(帶刻度)

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